Описание
Этот датчик предназначен для измерения концентрации HF в газовой фазе. Его можно использовать в качестве замены стандартных электрохимических высокочастотных датчиков серии 7, выпускаемых другими производителями.
Эксплуатационные характеристики 7HF-50 Semeatech
Номинальный диапазон 0~50 ppm
Максимальная перегрузка 100 ppm
Чувствительность (20°C) -0,3 + 0,1 pppm
Нулевой сигнал (20°C) < 40,2 пА
Сдвиг базовой линии (-20°C ~ 50°C) <3 ppm
Разрешение 0,5 ppm
Линейность Линейность до 50 ppm
Напряжение смещения 0 mV
