Описание
Этот датчик предназначен для измерения концентрации HF в газовой фазе. Его можно использовать в качестве замены стандартных электрохимических высокочастотных датчиков серии 7, выпускаемых другими производителями.
Эксплуатационные характеристики 7HF-10 Semeatech
Номинальный диапазон 0 ~ 10 ppm
Максимальная перегрузка 50 ppm
Чувствительность (20°C) -0.4 ± 0.1 μA/ppm
Нулевой сигнал (20°C) < ±0.2 μA
Сдвиг базовой линии (-20°C ~ 50°C) < 3 ppm
Разрешение 0.2 ppm
Линейность Линейность до 10 ppm
Напряжение смещения 0 mV
7HF-10 Semeatech
