Описание
Этот датчик предназначен для измерения концентрации HF в газовой фазе. Его можно использовать в качестве замены стандартных электрохимических высокочастотных датчиков серии 4, выпускаемых другими производителями.
Эксплуатационные характеристики 4HF-100 Semeatech
Номинальный диапазон 0 ~ 100 ppm
Максимальная перегрузка 100 ppm
Чувствительность (20°C) -0.15 ± 0.05 μA/ppm
Нулевой сигнал (20°C) < ±0.2 μA
Сдвиг базовой линии (-20°C ~ 50°C) < 3 ppm
Разрешение 1 ppm
Линейность Линейность до 100 ppm
Напряжение смещения 0 mV
