Описание
Этот датчик предназначен для измерения концентрации арсина в газовой фазе. Его можно использовать в качестве замены стандартных электрохимических датчиков Arsine серии 4, изготовленных другими производителями.
Эксплуатационные характеристики 4AsH3-1 Semeatech
Номинальный диапазон 0 ~ 1 ppm
Максимальная перегрузка 3 ppm
Чувствительность (20°C) 3.0 ± 0.6 μA/ppm
Нулевой сигнал (20°C) < ±0.2 μA
Сдвиг базовой линии (-20°C ~ 50°C) 0.2 ppm
Разрешение 20 ppb
Линейность Линейность до 1 ppm
Напряжение смещения 0 mV
